熱式質(zhì)量流量計也叫量熱式流量計，可以對流體質(zhì)量進(jìn)行實時的檢測，它是一種流體質(zhì)量流量儀器，利用流體通過外部熱源加熱管道時產(chǎn)生的溫度場變化來測量流體質(zhì)量流量，或者利用加熱流體時流體溫度上升所需的能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系來測量流體質(zhì)量流量。通常用于測量氣體的質(zhì)量流量。

雖然都是熱式，但是原理可分為兩種：一個是加熱流體流經(jīng)的部分管道，利用流體流經(jīng)加熱管道時溫度場的變化進(jìn)行測量，二是測量原理是加熱流體本身，利用能量與流體質(zhì)量之間的關(guān)系進(jìn)行測量。

熱式氣體質(zhì)量流量計中的傳感器通常由兩個基準(zhǔn)級熱電阻組成，一個是速度傳感器，另一個是測量氣體溫度變化的溫度傳感器。當(dāng)兩個熱電阻被放置在管道中的被測氣體中時，速度傳感器被加熱，另一個溫度傳感器被用來測量氣體的溫度。隨著氣體流量的增加，帶走的熱量上升，溫度傳感器本身的溫度下降。溫度傳感器前后的溫度變化值和通過管道的氣體質(zhì)量流量正是線性份額，因此工作原理可以計算氣體質(zhì)量流量。

氣體通過的測量段有兩個熱阻元件，一個是溫度檢測，另一個是加熱器。用于檢測氣體溫度的溫度傳感元件，加熱器通過改變電流來保持其溫度與被測氣體之間的恒定溫差。當(dāng)氣體流量增加時，冷卻效果越大，熱電阻之間的恒溫電流就越大。這種遞與氣體質(zhì)量流量相比，即供應(yīng)電流與氣體質(zhì)量流量之間存在相應(yīng)的函數(shù)關(guān)系，以反映氣體流量。

熱式質(zhì)量流量計壓力損失小，只需與流量傳感器配套使用，形成固定流量計，工作過程中損壞或故障少，是實用流量計，可測量低流量或小流量，管道污垢或雜質(zhì)無關(guān)，熱質(zhì)量流量計能準(zhǔn)確測量流量，壓力損失不大，方便快捷。當(dāng)使用熱質(zhì)流量計測量氣體時，氣體的比熱容量會隨著壓力溫度的變化而變化，但所使用的溫度壓力附近的小變化可視為常數(shù)。